ミクロン~ナノの表面・微小部の正確な観察と分析のための新しい研磨装置
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世界で初めて- ミクロン~ナノの観察・分析を正確に実施するための表面研磨機
- 研磨傷や研磨筋が全くない完璧に研磨する研磨機を実現
- 円筒面や円盤円周面も、真円性を保ちながら、鏡面仕上げ
- 熟練技術者のノウハウのプログラム化も可能
これまでの研磨装置
研磨方向に偏りがあり、研磨筋や研磨ムラが生じ易い
真円性が保てない
真円性が保てない
通常の研磨機で、試料を手持ちで研磨する
試料を研磨盤のどこに当てる?
当てる場所をどのように変える?
研磨盤の回転速度は?回転向きは?
試料を押し付ける強さは?
試料自体の水平向きの変え方は?
・
・
経験不足だと
研磨ムラ、研磨キヅ、研磨筋、・・・
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回転研磨盤の回転軸の位置をX・Y軸方向に自在に動かし
番地やある番地での滞在時間もプログラム化が出来ます
試料自転機構との一体化プログラムも可能
被研磨試料のあらゆる部位において研磨方向や研磨時間の均等性が得られる
熟練研磨技術者のノウハウをプログラム化することも可能
熟練研磨技術者のノウハウをプログラム化することも可能
実験用、分析用の一般的な試料の鏡面研磨
回転軸水平移動の位置と滞在時間等のプログラム化が可能
(ベテランのノウハウも良し、全て均等も良し)
例えば
(ベテランのノウハウも良し、全て均等も良し)
直径10cm、厚さ15mmの円盤の円周を、真円度±2μm、鏡面に仕上げます
円筒・円柱面の全ての部位が全ての方向から研磨が進行し、
真円度と、研磨筋のない鏡面が、同時に得られます
真円度と、研磨筋のない鏡面が、同時に得られます
分析試料や検査試料の分析面・検査面を鏡面にする必要が少なくありません
分析装置や検査装置は性能も進化し自動化も進化しています
ところが
分析試料や検査試料を鏡面仕上げする必要があるとき
未だに、人が手研磨をすることが少なくありません
研磨技術は人により様々であり、研磨不良のために
分析・検査結果が正しくないことも少なくありません
様々な材質の分析試料・検査試料を
完璧に研磨仕上げるのは分析者・検査者の悩みです
この新しい研磨機がきっと良い結果を生むでしょう