20nmを定量的に識別できるX線2次元検出器を実現

世界で初めて

20nmを定量的に識別できるX線2次元検出器を実現 その1

P5777875

検出器受光部の画素サイズが10ミクロンですが、特別な演算により画素数の増殖が可能で、画素サイズ20ナノに相当する定量的識別が可能です。

球面と平面の接触間隙の違いによるX線像の変化

間隔50nm
間隔30nm

ナノの領域の鮮明画像は得られませんが、任意制限視野の強度数値化が可能です。

拡大・増殖された任意の画素のX線強度が読み取れます

拡大・増殖された任意の画素のX線強度が読み取れます
選択した任意の画素に対して、番地とX線強度が示されます

※この検出器は浜松ホトニクス社の協力を得て実現しました。

世界で初めて

20nmを定量的に識別できるX線2次元検出器を実現 その2

P5777875

試料微小部から発生する特性X線はどのX線もほぼ等方的に発散する

平板分光結晶により同時に分光分散する

平板分光結晶により同時に分光分散する
平板分光結晶LiFで、Cu K線を分光
通常の走査型波長分散分光器の波長分解能は1~3Å領域では0.01Å程度であり、CuKα1とCuKα2の分離は出来ません

本検出器を用いると、機械的な走査せずに、静止のままで分離できます。